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摘要：平面研磨機加工工藝是復雜而又精確的，需要各種研磨耗材的配合。其中拋光墊對平面研磨機的研磨工藝有很大的作用，以下就是拋光墊在研磨機加工工件上的四個作用。 ①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域; ②將拋光后便化學反應充分進行的反應物、碎

平面研磨機加工工藝是復雜而又精確的，需要各種研磨耗材的配合。其中拋光墊對平面研磨機的研磨工藝有很大的作用，以下就是拋光墊在研磨機加工工件上的四個作用。

　　①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域;

　　②將拋光后便化學反應充分進行的反應物、碎屑等順利排出，達到去除效果;

　　③維持拋光墊表面的拋光液薄膜, 以便化學反應充分進行;

　　④保持研磨機拋光過程的平穩(wěn)、表面不變形, 以便獲得較好的晶片表面形貌。